INFORMATIONS COMPLEMENTAIRES
 
CONTACT
Applications

Lithographie

Guidages linéaires très précis pour tables de coordonnées X-Y

Pour appliquer des structures sur les puces, celles-ci sont revêtues d'une laque extrêmement photosensible. La laque photosensible est appliquée à travers un masque éclairé aux endroits où la lumière est présente.

Dans la fabrication de semi-conducteurs de la prochaine génération, on tendra vers des structures inférieures à 60 nm pour atteindre des densités de stockage et des vitesses de commutation plus élevées.

Les tables de coordonnées X-Y entraînées par moteur linéaire assurent les mouvements du substrat et du masque de projection. La base de la machine est une conception en granit robuste qui amortit les vibrations et un guidage très précis, par ex. le système INA à recirculation de rouleaux RUE. Ce guidage très silencieux se distingue par un fonctionnement régulier et une résistance au déplacement – pour une répétabilité et une précision élevées lors du positionnement.